Оборудование ЦКП "НОЦ-НТ"
|
№ п/п |
Название оборудования |
Основные технические характеристики (в соответствии с тех. документацией ) |
Производи-тель |
Виды работ |
Габариты, мм |
Масса, кг |
Мощность и категория электро-снабжения кВт |
Список потребляемых газов и химикатов. |
Специальные требования к помещению (класс чистоты, уровень вибраций и электромагнитных шумов) и инфраструктуре (форвакуум, сжатый воздух и т.д.) |
Технологическое обеспечение |
|
|
Лабораторное оборудование |
|||||||||
|
1 |
Электронный микроскоп (Комплекс электронно-ионной литографии ) Сross-Beam 1540XB |
Электронная и ионная литография , исследование структур при больших увеличениях. Разрешение 1,1нм (20кВ) (Эл.кол) Разрешение 7нм при 30кВ (Ион.кол) Диапазон увеличений 20х-900000х (Эл.кол); 600х -500 000х (ион.кол) Диапазон рабочих токов 4пА-20нА (Эл.кол); 1па-50нА (ион.кол) Диапазон укоряющих напряжений 100В-30000В; 3000-30000В (ион.к.); Источник электронов: автоэмиссионный (термоэмис. типа) Источник ионов: Ga(LMIS) Встроенные детекторы :1) AsB для 1540XB; 2)In-lens SE, 3)детектор втор. электронов Эвернхарта_-Торнли, 4)ИК-камера для обзора рабочей камеры |
Carl Zeiss Германия |
Электронная и ионная литография , электронномикроскопическое исследование структур при больших увеличениях.
Исследование структур нанопрепарирования, инспекция полупроводниковых приборов, анализ слоистых структур, исследования керамик и полимеров, ионное травление.
|
1.Основная.стойка 1420х2365х2300 2.Э.бл. 520х600х1500 |
Общий распре-делен-ный вес 1900 кг |
220В 4 квт |
Азот газобр. |
Относительная влажность <65% Температура в помещении 21оС Воздух; давление 6 атм (компрессор ) Вибрация пола < 2 _m/sec rms. < 20 Hz < 6 _m/sec rms. > 20 Hz Вода: Внешний контур охлаждения 2 л/мин Давление 2-3 атм Внутренний контур охлаждения 120л/ч |
Все требования к помещению соблюдены. Прибор находится в отдельном чистом помещении, форнасос, замкнутый водяной контур, баллон с азотом установлены в отдельной комнате. Оборудована система приточно-вытяжной вентиляции, установлены 2 кондиционера, приобретен и установлен источник бесперебойного питания ИБП SURT8000XLI, фирма APC, с комплектом аккумуляторных батарей SURT 192XLBR обеспечивающей стабильную работу в условиях экстренного отключения электроэнергии. |
|
2 |
Сверхвысокова-куумный атомно-силовой микроскоп SPM Probe VT AFM XA 650 |
-измерительная и шлюзовая камеры ; - многоступенчатая система высокова-куумной откачки -система управляемого отжига Остаточн.давление в раб.камере - 10-11 мбар. Измерительная камера оборудована СТМ, обеспечивающим возможность работы с образцами при изменяемой температуре в диапазоне рабочих температур - до 650К. - ионный источник для очистки поверхности |
Omicron Nanotech-nology Gmbh Германия |
Исследование в условиях сверхвысокого вакуума топографии и локальной плотности электронных состояний полупровод-никовых наноматериалов и наноструктур, применя-емых в наноэлектронике и нанофотонике. Исследо-вание одноэлек-тронных и размерных эффектов в наносистемах с пони-женной размерностью |
1.Основная стойка 1300х1800х1450 2. 3блока 900х650 |
Общий распределенный вес 1120 кг |
3-ф. сеть 3кВт |
Аргон |
приточно-вытяжная вентиляция |
Прибор находится в отдельном чистом помещении. В целях снижения вибраций основная стойка установлена на специальном фундаменте – плите размером 1500х2000х120мм |
|
3 |
Рентгеновский дифрактометр Rigaku UltimaIV
|
Шаг гониометра: 0,0001 градус; Материал анода - Cu Наличие параллельной градиентно-лучевой оптики; Число каналов позиционно чувствительного детектора – 1500; Угол захвата позиционно чувствительного детектора до 12 град.; Разрешение энерго дисперсионного детектора – 350 eV; Печь для исследования при температуре до 1500С.Наличие приставки малоуглового рассеяния рентгеновских лучей; Наличие качественного и количественного анализа по методу Ритфельда; Наличие базы данных PDF2. |
Rigaku Япония |
Качественный и количест-венный анализ кристал-лических фаз. Структурный анализ. Определение разме-ров нанокристаллитов. Ана-лиз структурных изменений кристаллических фаз при изменении температуры, влажности и давления с использованием соответ-ствующих камер Быстрый анализ с примнением пози-ционно-чувствительного детектора Автоматический режим сбора данных |
2000х1400 х1200 |
Измерит блок 600кг |
3-ф. сеть 10кВт |
- |
Приточно-вытяжная вентиляция – обычная - кондиционирование воздуха; нагрузка на пол 1000 кг/м2
|
Прибор находится в отдельном чистом помещении Все требования к помещению соблюдены. Имеется сертификат соответствия и акты проверки на уровень вибрации |
|
4 |
Микроскоп для лабораторных исследований Axio Imager Z1 с лазерным сканирующим блоком LSM 710 |
Конфокальный лазерный сканирующий люминесцентный микроскоп LSM 710 на базе «прямого» люминесцентного микроскопа «Axio ImagerM1». Режимы работы: традиционная оптическая микр-оскопия (поляризационная, фазово-конт-растная, функция DIC и TDL) регистрации 2D оптических изображений c дифрак-ционным пространственным раз-решением; конфокальная люминесцентная микроскопия с возможностью построения 3D изображений и спектрального анализа |
Carl Zeiss Германия |
Исследования оптических процессов в оптических средах в различных спек-тральных диапазонах и условиях; исследования по оптической обработке информации и преобразова-нию оптического излучения Работы по исследованию механизмов фото- и термостимулированных процессов. |
1000х1200х 1500
|
110кг |
220-240v 50-60гц, 2 кВт
|
- |
- |
Все требования к помещению соблюдены. |
|
5 |
Лазерный анализатор размеров частиц динамического рассеяния света Horiba LB 550V |
Диапазон измеряемых размеров: от 0,6 нм до 6 мкм. |
Horiba Япония |
Анализ размеров диспергированных в растворах частиц. Контроль размеров наночастиц, полученных гидротермальным синтезом.
|
320х 600х 260
|
18 кг |
220-240v 50-60гц, 1 кВт
|
- |
- |
Все требования к помещению соблюдены. |
|
6 |
Сканирующий спектрофлюори-метр Cary Eclipse |
Спектр. диапазон: 200-900нм Источник света: импульсная Xe лампа, 80 Гц, 2.5 мкс FWHM, импульсная мощн. 75 кВт; Монохроматоры возбуждения и регистрации: Черни-Тернер f3.6, фокусная длина 0.125 м Спектральн. разрешение: 1.5–20 нм. Диапазон усреднен.сигналов: 1 мкс -999 с.; Чувствительность (линия КР воды): > 700:1, возбуждение-350 нм, ширина щелей-10 нм |
Varian Inc/ США |
Проведение абсорбционно-люминесцентных измерений, включая спектры возбуждения люминесценции в спектр. диапазоне 200-900нм
|
608 x 644 x 271
|
30кг |
трех-фазная сеть, 2кВт
|
|
- вода, - вытяжная вентиляция |
Все требования к помещению соблюдены.
|
|
7 |
Спектрометр EPP2000-NIRX-SR InGaAs-512 |
Спектральный диапазон: 900-2300 нм. Детектор: Охлаждаемый InGaAs фотодиодный, 512 элементов с размером элементов 25 x 500 мкм Динамический диапазон: 4000:1 Разрешение: 3.1 нмс щелью шириной 25 мкм Интерфейс: USB-2 and Parallel Время интегрирования: 1 мс – 30 с |
StellarNet США |
Проведение регистрации спектров поглощения, отражения и люминес-ценции (включая спектры возбуждения люминес-ценции) от жидких и твердых образцов в ста- ционарных и кинетических измерениях в спектральном диапазоне 900-2300 нм. |
200х400х600
|
10кг |
220-240v 50-60гц, 2кВт
|
|
- |
Все требования к помещению соблюдены.
|
|
9 |
Учебный оптико-электронный микроскоп Phenom с возможностью совмещения с СЗМ |
- Диапазон увеличений 20х-20000х - Твердотельный детектор обратно-рассеянных электронов FEI |
FEI США |
Обучение специалистов всех категорий: студентов, аспи-рантов и др технике элек-тронно-микроскопического исследования. Проведение РЭМ –исследований в режиме обратно-отраженных электронов , а также с воз-можностью совмещения с СЗМ. |
286х566 х495 |
50кг
|
220-240v 50-60гц, 1 квт |
- |
- |
Все требования к помещению соблюдены.
|
|
|
Производственно-технологическое оборудование
|
|||||||||
|
110 |
Установка высокого давления КИ250
|
Рабочий объем – 100 мл Материал автоклава – титан Материал окон – сапфир Температура – до 500 С Давление – до 1000 атм Ультразвуковая обработка среды – частота 22 кГц и регулируемая мощность Система видеорегистрации – 300 кадров в секунду Система контроля и поддержания давления и температуры в рабочем объеме автоклава Защитный бронированный кожух |
ООО «КемКо Инжени-ринг», Россия |
ГидротермальныйСинтез наночастиц и исследование поведения систем, содержащих наноразмерные компоненты
|
500х1200х800 |
250кг |
220В, 4 кВт |
- |
подвод воды, ее расход:
100 л/час |
Все требования к помеще-нию соблюдены.Прибор находится в отдельном чистом помещении: пыле-стойкие мраморные стены и специальный линолеум. Место расположения ограж-дено бронированной перего-родкой.У КИ250 замкнутая система водяного охлажде-ния, не требующая подклю-чения к центральному водо-снабжению.Вентиляция - принудительная |
|
11 |
Установка для вакуумного и магнетронного напыления серии Scancoat Six |
Параметры: напряжение 1500 В, ток 50 мА, скорость напыления 60 нм/мин. Диаметр напыления – 100 мм. |
BOC EDWARDS Великобритания |
Нанесение покрытий магнетронным методом на холодную подложку с регулировкой ее потенциала, ионное травление, термическое напыление |
470х375х х450
|
22кг
|
220-240v 50-60гц, Мощность 0,5квт |
- |
- |
Все требования к помещению соблюдены |
|
12 |
Вакуумная напы-лительная уста-новка (произ-водства Structure Probe, Inc., США) |
Скорость напыления: при I – 20mA; 120nm за минуту при использовании золотого катода Диаметр рабочей камеры: 15 см. Рабочий ток для нанесения покрытий: 50 – 10 mA. Остаточное давление в рабочей камере: менее 1,3 х 10-3Па |
Structure Probe, Inc., США |
Технологическая установка для предварительной подготовки объектов для последующего иследования их в электронных микро-скопах, в т.ч.: -декорирование диэлек-триков тонким проводящим слоем; -нанесение металлических покрытий на поверхность заостренных световодов, -нанесение ферромагнитных покрытий для создания на-нозондов. |
200х350х 300; 500х350х 150; 200х350х 300
|
30,3кг |
220-240v 50-60гц, Мощность 0,5квт |
Аргон |
- |
Все требования к помещению соблюдены |
|
Измерительное и испытательное оборудование, средства измерения |
||||||||||
|
|
Измеритель ком-плексных коэф-фициентов пере-дачи и отражения «Р4М-18» |
Скалярный и векторный анализатор s- параметров СВЧ цепей от 10 МГц до 18 ГГц: диапазон рабочих частот от 10МГц до 18ГГц; динамический диапазон не менее 100 дБ; возможность полной двухпортовой калибровки; измерение матрицы S-параметров за одно присоединение устройства; конфигурируемый измерительный блок для гибкой настройки условий измерений; фильтрация и анализ во временной области; стробируемые измерения; высокий уровень выходной мощности при низком уровне гармоник внутреннего синтезатора частот |
ЗАО НПФ «Микран» Россия |
Используется при проведении следующих работ: -Исследование, разработка и настройка новых элементов фотоники для обработки информации оптическими методами: модуляторов и фазовращателей, оптических процессоров, - Поиск технических путей создания элементов активных фазированных антенных решеток с оптическим распределением сигналов по раскрыву», - Создание макета фазированной антенной решетки с фотонным управлением,
|
450х450х200 |
25кг |
220-240v 50-60гц 1квт
|
- |
- |
Все требования к помещению соблюдены. Имеется сертификационный протокол испытания на электромагнитную совместимость, на помехоэмиссии. |