Оборудование НОЦ НТ

1. Установка магнетронного напыления ЭТНА-100-MT (НТ-МДТ, г. Зеленоград, Россия)

-напыление методом магнетронного распыления металлических, полупроводниковых, диэлектрических покрытий;

-напыление многослойных покрытий;

-контроль толщины напыления кварцевым датчиком не хуже 5 нм;

-ионная очистка и ионное ассистирование в процессе напыления.

2. Установка плазмохимического травления ЭТНА-100-ПТ (НТ-МДТ, г. Зеленоград, Россия)

-травление диэлектрических и полупроводниковых материалов с использованием ICP источника;

-Bosch процесс, высокоаспектное травление кремния на глубины более 100 мкм.

Рис.4 Установка плазмохимического травления ЭТНА-100-ПТ

3. Сканирующий зондовый микроскоп ИНТЕГРА  (НТ-МДТ, г. Зеленоград, Россия)

-латеральное разрешение не хуже 10 нм, разрешение по оси Z не хуже 1 нм, область сканирования 100х100х5 мкм.

Рис.5 Сканирующий зондовый микроскоп ИНТЕГРА 

4. Сверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НАНОФАБ-100 (НТ-МДТ, г. Зеленоград, Россия)

-разрешение записи по металлическим материалам колонны ФИП не хуже 30 нм;

-разрешение записи по полупроводниковым материалам не хуже 100 нм.

Рис.6 Сверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НАНОФАБ-100

5. Растровый электронный микроскоп Quanta 200 (корпорация FEI)

6. Сканирующий зондовый микроскоп Nanoeducator (НТ-МДТ, г. Зеленоград, Россия)

Рис.7 Сканирующий зондовый микроскоп Nanoeducator

7. ИК-спектрофотометр IR Prestige-21 FTIR (Shimadzu)

8. UV-спектрофотометрUV-2450 (Shimadzu)

Рис. 8 UV-спектрофотометр UV-2450

9. Микроскоп FT-IR Hyperion 1000 со спектрометром FT-IR Tensor 27 (Bruker Optics, Germany).

10. Эллипсометр V-VASE Woollam .

-спектральный диапазон 350 нм - 1.6 мкм;

-определение оптических констант материалов;

-возможность контроля толщины покрытий с точностью до 1 ангстрема (для тонких покрытий).