Оборудование НОЦ НАНОТЕХ

Axio CSM 700 – Конфокальный сканирующий микроскоп

Назначение: Предназначен для ознакомления студентов, аспирантов и научных сотрудников с передовыми методиками микроскопии в материаловедении: анализ параметров шероховатости материалов, измерение геометрических параметров объектов, в т.ч. измерение толщины нанопленок, исследование рельефа и фазового состава поверхности.

Фирма-изготовитель: Carl Zeiss

Страна фирмы-изготовителя: Германия

Год выпуска: 2010

Основные характеристики:

· Осветительная система: ксеноновая лампа (диапазон 400–700 нм);

· Инновационное многощелевое освещение. Конфокальность генерируется положением CCD-матрицы;

· Естественные цветные изображения в конфокальной прецизионности, скорость сканирования: 7,5 кадр/сек;

· Пиксельное разрешение 1280х1024;

· Высокая скорость сканирования широкого поля зрения: 117 кадр/сек;

· Латеральное разрешение 320 нм;

· Высокая точность измерений по Z оси: около 30 нм;

· Виброзащита встроена в штатив;

· Разрядность данных 3х8 бит в режиме RGB;

· Объективы Х10, Х20, Х50, Х100.

Axio 40 MAT – оптический материаловедческий микроскоп, оснащенный видеокамерой AxioCam и программным комплексом AxioVision

Назначение: Предназначен для качественного и количественного исследования различных материалов с целью решения простых материаловедческих задач (например, определение размера зерна, анализ включений, анализ второй фазы и др.). Программный пакет AxoiVision позволяет осуществлять цифровую обработку изображений и элементы их анализа.

Фирма-изготовитель: Carl Zeiss

Страна фирмы-изготовителя:

Основные характеристики:

 Блок визуализации:

· Осветитель – на основе галогенной лампы соответствующей мощности. Регулировка мощности - плавно, от > 1,5 до 12 В.

· Перемещение образца – в диапазоне 30x30 мм.

· Стеклянные диафрагмы с внешним диаметром 115мм, внутренними диаметрами 10мм, 27мм и 50мм.

· Окуляры «Eyepiece W-PL 10x/23 Br. foc.» Увеличение – 10 крат, линейное поле - 23 мм.

· Объектив «EC "Epiplan" 5x/0.13 HD M27». Увеличение – 5х, апертура 0.13, рабочее расстояние 14,5мм, резьба M27.

· Объектив «EC "Epiplan" 20x/0.4 HD M27». Увеличение – 20х, апертура 0.40, рабочее расстояние 3,0мм, резьба M27.

· Объектив «EC "Epiplan" 50x/0.7 HD M27». Увеличение – 50х, апертура 0.70, рабочее расстояние 1,1мм, резьба M27.

· Объектив «EC "Epiplan" 100x/0.8 HD M27». Увеличение – 100х, апертура 0.80, рабочее расстояние 0,85мм, резьба M27.

Камера:

· Аппаратное разрешение 2560 (Г) x 1920 (В) = 4,9 Мегапикселей

· Спектральный диапазон чувствительности сенсора 400-710 нанометров

· Оцифровка 12 бит на каждый цифровой канал

· Время интеграции (накопление) устанавливаемое в диапазоне не менее от 10 миллисекунд до 2 секунд

· Скорость съемки «живого» изображения, не менее 13 кадров/сек с разрешением 1280 x 960 точек

ФемтоСкан многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп с полным управлением через Интернет

Назначение: Предназначен для ознакомления студентов, аспирантов и научных сотрудников с передовыми методиками сканирующей зондовой микроскопии, анализа нанообъектов, локальных механических и электрических свойств поверхности.

Фирма-изготовитель: ООО НПП «Центр перспективных технологий»

Страна фирмы-изготовителя: Российская Федерация

Год выпуска: 2010

Основные характеристики:

Блок пьезоманипулятора (сканер):

· Строго вертикальный подвод/отвод образца

· Диапазон начального подвода — 5 мм

· Шаг начального подвода — 20 нм

· Типичный температурный дрейф — менее 1 нм/с

· Позиция образца — горизонтальная

· Размер образца — до 15 мм диаметром, высота до 5 мм

· Область сканирования — 10х10х1.5 мкм

· Разрешение — 0.1 нм латеральное, 0.03 нм вертикальное

· Скорость сканирования — до 30 Гц

СТМ головка:

· Регистрация сигналов Высоты, Отклонения, I(U), I(Z)

· Диапазон туннельного тока: 10 пА - 10 нА, разрешение 16 бит

· Туннельное напряжение ±9 В, разрешение 16 бит

· Диаметр иглы 0.1 - 0.4 мм

· Разрешение – атомное на графите

АСМ/РАСМ головка:

· Регистрация сигналов Высоты, Отклонения, Трения, Интенсивности, Амплитуды, Фазы, F(Z), D(Z)

· Разрешение – атомное на слюде

· Резонансные режимы — полуконтактный, модуляция силы

Сканирующая резистивная микроскопия:

· Два варианта по выбору заказчика:

· Прикладываемое напряжение - основной диапазон: ±9 мВ, разрешение 16 бит

· расширенный диапазон: ±9 В, разрешение 16 бит

· Вариант 1: Разрешение по току — 50 пА. Макс. ток — ±300 нА, разрешение 16 бит

· Вариант 2: Разрешение по току — 0,5 пА. Макс. ток — ±1,5 нА, разрешение 16 бит

Магнитно-силовая микроскопия:

В режиме Двойного прохода строки/кадра с АСМ/РАСМ головкой

Система наномеханических испытаний  TI750 Ubi

Назначение: Система является автономным комплексом для широкого спектра квазистатических испытаний посредством индентирования. Нанометровое разрешение визуализации и позиционирования зонда позволяет анализировать MEMS структуры, наночастицы, а также проводить механический анализ нанокомпозиционых материалов.

Фирма-изготовитель: Hysitron Inc.

Страна фирмы-изготовителя: США

Год выпуска: 2010

Основные характеристики:

· Точность позиционирования индентора не хуже ±10 нм;

· Максимальная нормальная нагрузка 10 мН;

·  Уровень шумов нормальной нагрузки не более 30 нН;

·  Битовое разрешение нормальной нагрузки не хуже 3 нН;

·  Максимальная скорость нагружения более 50 мН/сек;

· Уровень шумов нормального смещения не более 0.2 нм;

· Битовое разрешение нормального смещения не более 0.02 нм;

· Термический дрейф при нормальном смещении не более 0.05 нм/сек;

·  Объём сканирования не менее 60х60х4 мкм.

· Скорость сканирования в диапазоне 0.1 – 3 Гц;

· Нагрузка при визуализации до 70 нН;

· Возможность опциональной реализации методик высоких нагрузок (до 10 Н).

Сканирующий электронный микроскоп SIGMA VP

Назначение: Исследование морфологии, кристаллической структуры и химического состава материалов в микро- и нанодиапазоне.

Фирма-изготовитель: Carl Zeiss

Страна фирмы-изготовителя: Германия

Год выпуска: 2010

Основные характеристики:

· Источник электронов - катод с полевой эмиссией (катод Шоттки) с возможностью варьирования ускоряющих напряжений от 0.2 до 30 кВ.

· Пространственное разрешение:

o 1 нм в режиме высокого вакуума при 30 кВ;

o 1.3 нм в режиме высокого вакуума при 20 кВ;

o 2.8 нм в режиме высокого вакуума при 1 кВ.

· Вакуумная система обеспечивает работу в режиме высокого вакуума в камере 10^-2 Па, в области катода до 3*10^-7 Па.

· Диапазон увеличений 12x – 1 000 000x.

· Плавное изменение тока зонда в диапазоне 4 пА – 100 нА.

· Исследование образов диаметром до 250 мм и длиной до 145 мм.

· Максимальный размер получаемого изображения 16000 x 16000 пикселей.

· Пространственное разрешение до 1 нм.

· Разрешение детектора Inca Energy 450 x-Max - 127 эВ.

Установка для нанесения покрытий Quorum Q150T ES

Назначение: Нанесение металлических покрытий и напыления углеродного покрытия.

Фирма-изготовитель: Quorum Technologies Inc.

Страна фирмы-изготовителя: Канада

Год выпуска: 2010

Основные характеристики:

· напыления слоя от 1 нм до нескольких микрон;

· контроля напыления по толщине и времени.

Автоматизированная установка роста углеродных нанотрубок CVDomna

Назначение: Установка предназначена для получения различных видов углеродных наноструктур (одно- и многостенных нанотрубок, нановолокон, графитовой сажи и т.п.) методом каталитического пиролиза углеродосодержащей парогазовой смеси на подложках и сложных структурах.

Фирма-изготовитель: NanoDevice Technology

Страна фирмы-изготовителя: Российская Федерация

Год выпуска: 2010

Основные характеристики:

· Источник углерода: ацетон, этанол, бензол, пропанобутановая смесь

Характеристики нагрева:

· Максимальная температура: 1100 °С

· Скорость нагрева: 150 °С/мин

· Точность задания температуры: 1 °С

· Точность поддержания температуры: ± 5 °С

Система подачи парогазовой смеси

· Объем камеры: 250 мл

· Максимальное давление парогазовой смеси: 200 кПа

· Максимальная температура: 80°С

Автоматизированная установка электрохимического синтеза нанопористых материалов Digma

Назначение: Установка предназначена для создания нано-, микро- и мезопористых слоев полупроводников и диэлектриков контролируемой толщины и степени пористости электрохимическим травлением полупроводниковых и металлических материалов.

Фирма-изготовитель: NanoDevice Technology

Страна фирмы-изготовителя: Российская Федерация

Год выпуска: 2010

Основные характеристики:

· Диапазон напряжений анодирования: 50…300 В

· Диапазон плотностей токов анодирования: 5…50 мА/см2

· Допустимое отклонение плотности тока: ± 0,05 мА/см2

· Количество программ в энергонезависимой памяти: 100

· Максимальная длительность выдержек, мин:сек: 999:50

· Дискретность задания выдержек: не более 10 сек

Автоматизированный измерительный комплекс сбора и обработки данных компании National Instruments

Назначение: Комплекс предназначен для функционального и параметрического тестирования разнообразных электронных приборов и устройств.

Аппаратная часть комплекса состоит из модульной платформы PXI и модульных приборов разного функционального назначения: осциллограф с высоким разрешением; генератор сигналов произвольной формы; цифровой генератор-анализатор сигналов; плата сбора данных M-серии; цифровой мультиметр; программируемый источник питания; матричный коммутатор.

Фирма-изготовитель: National Instruments

Страна фирмы-изготовителя: США

Год выпуска: 2010

Основные характеристики:

· 7 модулей ввода-вывода сигналов в форм-факторе 3U.

Программируемый источник/измеритель:

· Канал 0 (служебный) – программируемый источник питания:

- работа в I и III квадрантах в режимах источника тока или напряжения;

- диапазон выходных напряжений от 0 до +6 В;

- диапазон выходных токов 0-1 А;

- разрешение ЦАП – 16 бит;

- разрешение АЦП в измерительных цепях обратной связи – 16 бит;

- неизолированный;

· Канал 1 – источник измеритель:

- работа в I, II, III и IV квадрантах в режимах источника тока или напряжения;

- диапазоны выходных напряжений – ±6 В и  ±20 В;

- диапазоны выходных токов – от ±200 мкА до ±2 А (5 поддиапазонов);

- разрешение ЦАП – 18 бит;

- разрешение АЦП в измерительных цепях обратной связи – 18 бит;

- изолированный;

· Суммарная выходная мощность – 8 Вт (46 Вт с внешним блоком питания);

· Частота обновления до 3 кГц;

· Возможность параллельного и последовательного соединения каналов для выдачи больших токов и напряжений;

Цифровой мультиметр:

· Частота дискретизации АЦП – до 1.8 МГц;

· Входная полоса пропускания  – 300 кГц;

· Разрешение АЦП – от 23 бит при частоте опроса 1 Гц, до 10 бит при частоте опроса 1.8 МГц;

· Измерение напряжения –  от ±100 мВ (с разрешением 100 нВ) до ±300 В (с разрешением 1 мВ);

· Измерение тока –  от ±20 мА (с разрешением 10 нА) до ±1 А (с разрешением 1 мкА);

· Измерение сопротивления –  от 100 Ом (с разрешением 100 мкОм) до 100 МОм (с разрешением 100 Ом);

· Измерение часоты от 1 Гц до 500 кГц;

· Осциллорафирование токов и напряжений с частотой опроса до 1.8 МГц;

Генератор сигналов произвольной формы в полосе до 43 МГц:

· Частота дискретизации ЦАП – до 100 МГц (400 МГц с аппаратной интерполяцией);

· Разрешение ЦАП – 16 бит;

· Выходной диапазон генерируемого сигнала –  от ±2.82 мВ до ±6 В при нагрузке на 50 Ом;

· Выходной импеданс 50 Ом, 75 Ом;

· Полоса частот выходных сигналов – до 43 МГц;

· Встроенная память на канал – 8 МБ;

Высокоточный регистратор/осциллограф с полосой 100 МГц:

· Частота дискретизации АЦП – до 100 МГц/канал в реальном времени, до 2 ГГц/канал в режиме стробоскопа;

· Входная полоса пропускания  – 100 МГц;

· Разрешение АЦП – 14 бит;

· Входной диапазон анализируемого сигнала –  от ±100 мВ до ±10 В;

· Входной импеданс 50 Ом, 1 МОм;

· Встроенная память – 8 МБ/канал;

Модуль ввода/вывода аналоговых и дискретных сигналов:

· Количество входных аналоговых каналов – 32 с общим проводом или 16 дифференциальных;

· Режим опроса аналоговых каналов – мультиплексируемый;

· Частота дискретизации АЦП – 1.25 МГц в режиме измерения сигналов с одного канала, 1 МГц в режиме измерения сигналов с нескольких каналов;

· Разрешение АЦП –16 бит;

· Входной диапазон сигналов – от ±100 мВ до ±10 В;

· Количество выходных аналоговых каналов – 4;

· Частота дискретизации ЦАП – 2.8 МГц в режиме генерации сигналов с одного канала, 2 МГц в режиме генерации сигналов с двух каналов, 1.54 МГц в режиме генерации сигналов с трёх каналов, 1.25 МГц в режиме генерации сигналов с четырех каналов;

· Разрешение ЦАП –16 бит;

· Выходной диапазон сигналов – ±5 В, ±10 В;

Высокоскоростной логический анализатор/генератор с программируемыми  уровнями логических сигналов:

· Уровень логических сигналов – программируемый от -2.0 В до 5.5 В с шагом 10 мВ;

· Возможность задания различных логических уровней для входных и выходных каналов;

· Поддержка Z-состояний;

· Сравнение принятых данных с эталоном в реальном времени;

· Тактирование каналов – аппаратное до 50 МГц;

· Встроенная память – 1 Мб/канал;

544-релейный матричный (4x136) коммутатор на базе полупроводниковых (FET) реле:

· Максимальное коммутируемое напряжение – 12 В постянного тока, 8 В (с.к.з.) переменного тока;

· Максимальный коммутируемый ток – до 100 мА;

· Максимальный пропускаемый ток – до 100 мА;

· Максимальная коммутируемая мощность – до 1.2 Вт;

· Полоса пропускания – 1 МГц;

· Внутренне сопротивление (path resistance) – 9 Ом;

· Частота коммутации каналов – до 50000 Гц

Учебно-лабораторный стенд

«Лаборатория технического зрения»

Назначение: Лабораторный стенд предназначен для изучения основ систем технического зрения. Основой стенда является  интеллектуальная камера NI Smart Camera, которая дает возможность в интерактивном режиме осуществлять сбор видеоизображений и их обработку.

Фирма-изготовитель: National Instruments

Страна фирмы-изготовителя: США

Год выпуска: 2010

Основные характеристики:

· Интеллектуальная камера NI SmartCamera с разрешением 640х480 точек, скоростью съемки до 60 кадров/с;

· Фокусные расстояния видеообъективов типоразмера F1. 48 мм, 12 мм, 16 мм, 25

· Наличие программного обеспечения для сбора и обработки изображений (Учебная платформа NI Elvis 2)

Тепловизионный комплекс G-120М

Назначение: Предназначен для проведения лабораторных работ по курсу «Радиационный, тепловой и оптический контроль». Распределение температуры отображается на дисплее тепловизора как цветовое поле, где определённой температуре соответствует определённый цвет, что позволяет вести контроль за изменением температур в режиме реального времени.

Фирма-изготовитель: NEC Avio

Страна фирмы-изготовителя: Япония-США

Год выпуска: 2010

Основные характеристики:

· Спектральный диапазон 8-14 мкм

· Диапазон измерений от -40°С до 500°С

· Минимально различаемая разность температур 0,06°С.

· Погрешность измерений ±2°С или ±2% от показания

Люминесцентный спектрометр LS 55

Назначение: Однолучевой люминесцентный спектрометр, работающий в режимах флуорисценции, фосфоресценции, хеми- и биолюминесценции, предназначен для исследования абсорбционных и люминесцентных свойств веществ и материалов (в т.ч. наноматериалов).

Фирма-изготовитель: PerkinElmer Inc.

Страна фирмы-изготовителя: США

Год выпуска: 2011

Основные характеристики:

· Точность установки длины волны ±0,1 нм.;

· Спектральный диапазон 200-900 нм;

· Разрешение 0,5 нм.;

· Регулируемая щель 2,5-10 нм.;

· Соотношение сигнал/шум > 1000/1.

· Температурный диапазон (модернизация) – RT – 870 К

Люминесцентная система для изучения радиационно-оптических свойств материалов InLight

Назначение: Система предназначена для проведения лабораторных работ по курсу «Радиационный, тепловой и оптический контроль» и позволяет регистрировать сигналы оптически-стимулированной люминесценции в облученных материалах и позволяет проводить персональный дозиметрический мониторинг персонала и другие дозовые измерения.

Фирма-изготовитель: Landauer Inc.

Страна фирмы-изготовителя: США

Год выпуска: 2011

Основные характеристики:

· Дозиметр: корпус и слайд;

· Производительность: 280/час;

· Возможность повторного анализа для определения доз облучения;

· Периодический анализ при сохранении общей накопленной дозы;

· Возможность архивирования доз;

· Загрузка: 4 кассеты, 50 дозиметров кассета;

· Ввод штрих-кода: внутреннее оптическое считывающее устройство.

Сверхвысоковакуумный аналитико-технологический комплекс на базе платформы НАНОФАБ 100

Назначение: Спектр возможностей НАНОФАБ 100 простирается от проведения фундаментальных исследований до отработки отдельных технологических приемов и моделирования наноэлектронных устройств. Применяемые компоновочные схемы, система управления и развитая транспортная система НТК НАНОФАБ 100 позволяют применять их также и для мелкосерийного производства наноструктур и наноустройств.

Радиальный транспортный модуль

Назначение: Предназначен для транспортировки пластин диаметром вплоть до 100 мм, автоматизирован шаговыми двигателями.

Фирма-изготовитель: NT-MDT

Страна фирмы-изготовителя: Российская Федерация

Год выпуска: 2011

Основные характеристики:

· Обеспечивает транспортировку пластин диаметром вплоть до 100 мм;

· Обеспечивает перемещение образца между различными камерами в вакууме не менее 10^-10 Торр;

· Точность репозиционирования манипулятора по линейной координате 0,1 мм;

· Точность репозиционирования манипулятора по угловой координате не хуже 0,05⁰;

· По периметру камеры на равных угловых расстояниях расположены 6 стыковочных портов с возможностью присоединения к каждому из портов отдельных модулей.

Модуль загрузки образцов

Назначение: Предназначен для загрузки-выгрузки исследуемых образцов из технологических модулей

Фирма-изготовитель: NT-MDT

Страна фирмы-изготовителя: Российская Федерация

Год выпуска: 2011

Основные характеристики:

· Позволяет загружать и хранить не менее 8 образцов диаметром не менее 100 мм;

· Измерение давления в диапазоне от атмосферного до 10^-10 мбар.

Модуль плазмохимического травления и осаждения

Назначение: Предназначен для обеспечения сухого травления и очистки широкого спектра полупроводниковых материалов в виде пластин диаметром до 100 мм, а также удаления резистивных масок после операций фотолитографии

Фирма-изготовитель: NT-MDT

Страна фирмы-изготовителя: Российская Федерация

Год выпуска: 2011

Основные характеристики:

· Температура на образце 600ºС.

· Мощность индуктивного  высокочастотного источник возбуждения плазмы 600 Вт, частота 13.56 мГц.

· 3. 4 газовых канала (10…100 см.куб./мин. ).

· Диапазон рабочих давлений 10^-3 – 1 торр.

· Предельный вакуум 10^-6 торр.

· Скорость травления большинства материалов в диапазоне от 0.08  до 5 мкм/мин.

· Скорость осаждения  в диапазоне 0.01 – 0.5 мкм/мин.

· Однородность скорости  осаждения и травления  по площади –± 5 %.

Аналитический модуль

Назначение: Предназначен для контроля параметров получаемых структур.

Фирма-изготовитель: NT-MDT

Страна фирмы-изготовителя: Российская Федерация

Год выпуска: 2011

Основные характеристики:

· Диапазон сканирования 100х100х10 мкм. (+/-10%)

· Z шум S в 1000Гц полосе в диапазоне от 0.03 до 0.05 нм

· Минимальный шаг сканирования (Цифро-налогового преобразователя) – 0.01 нм

·  В системе регистрации используется лазер с длиной волны в диапазоне от 630 до 830 нм.

· Увеличение видеомикроскопа в диапазоне  47x - 2900x,

· Горизонтальное поле зрения видеомикроскопа 2 - 0,3 мм

· Разрешение видеомикроскопа 3 мкм

· Числовая апертура видеомикроскопа 0.1

· Анодный ток источника рентгеновского излучения в диапазоне от 5 до 50мкА

· Ускоряющее напряжение в диапазоне от 10 до 45КэВ

· Мощность источника рентгеновского излучения в диапазоне от 80-240Вт

· Размер сфокусированного рентгеновского пучка 2мм.

· Максимальное количество регистрируемых спектров в одну секунду 1500

· Активное подавление системы активной виброизоляции в диапазоне 0,6-200 Гц.